一般的な加熱素子は、熱をあらゆる方向に放出してしまいます。狭い半導体製造装置の中では、これは大きな問題です。結果として、「不要な熱」が装置の内壁に蓄積されてしまいます。内部の筐体が手で触れられないほど熱くなってしまうと、単なる熱安定性の問題だけでなく、安全上の問題も生じます。 私たちは、高輝度の赤...

カーボンファイバーIRとホットエア：部品を加熱するためのより優れた方法 もしまだ半導体加工にホットエアを使用しているなら、それは単に待つしかない状態です。 どのように動作するか考えてみてください。まず空気を加熱し、その空気が部品を加熱するのです。これは中間媒体を介した方式です。精密加工では、この中...

ファブ内のランプを長く使い続けるために：クォーツシールドの真実 もし、鉛を含まない、環境に優しい乾燥方式を採用したいと思っているなら、従来の加熱方法では不十分だということは既にご存知でしょう。そのため、ほとんどの人々は赤外線を利用した curing 方法を採用しています。空気を加熱するだけでは不十...

無駄な熱の浪費をやめよう：なぜ金コーティングされた反射材が重要なのか 半導体製造工場では、無駄になる1ワットでも大きな損失となります。硬化用ランプを使用する際、単に部品を高温にするだけでなく、その熱を正確にウェーハ上に集中させることが重要です。 問題は、一般的な反射材は熱が漏れやすいという点です。...

半導体製造装置での熱の無駄遣いを止めましょう。 ほとんどの加熱要素は、エネルギーをあらゆる方向に放出してしまいます。半導体製造工場では、これは大きな問題です。 考えてみてください。ウェーハを加熱しようとしているのに、結果的に機械の内部も過度に加熱されてしまいます。これは電力の無駄遣いであり、また、...

ファブ内の二酸化炭素排出を減らす：より良い乾燥方法 正直言って、半導体ファブは莫大なエネルギーを消費します。そのエネルギーの多くは、熱処理や乾燥のために使われています。もし依然として従来の対流式オーブンを使っているなら、実質的には巨大な金属製の箱や空気を温めるためにお金を払っていることになります。...

なぜ、すべての照明管をテストするのか（そして、なぜそれが重要なのか） 半導体製造工場では、わずかな電気アークや漏れ電流といったものは単なる厄介ごとではありません。それは大災害です。一瞬で、大量のウェーハがダメになってしまう可能性があります。 だからこそ、私たちはクリーンルーム内の照明に対して「バッ...

製造現場において、量子チップの歩留まりは偶然に左右されるものではありません。それは熱制御にかかっています。フォトレジストを加熱する際に数度の温度変動があれば、ウェーハが破壊されてしまい、何週間もかけて行われたプロセスが無駄になってしまいます。私たちは、このような不安定要因を排除するために、量子コン...

包装する直前に、洗浄後に残った水分はそのままにしておくわけにはいきません。それが封止剤の中に浸透してしまうのです。これによりCTEが変化し、将来的に剥離が起こる可能性があります。また、もし依然として従来のホットプレートを使用している場合、エッジビードの問題や粒子の発生といった問題が常に存在します。...