一般的な加熱素子は、熱をあらゆる方向に放出してしまいます。狭い半導体製造装置の中では、これは大きな問題です。結果として、「不要な熱」が装置の内壁に蓄積されてしまいます。内部の筐体が手で触れられないほど熱くなってしまうと、単なる熱安定性の問題だけでなく、安全上の問題も生じます。
私たちは、高輝度の赤外線ランプと、専用に設計されたステンレス製のハウジングを組み合わせることで、この問題を解決しています。
熱を正しい場所に届ける 方向性のある加熱というのは、単にランプだけの問題ではありません。実際には、反射器とハウジングが協力して機能することが重要です。私たちは、研磨されたステンレスやアルミニウムを使用して、赤外線をウェーハや基板上に直接当てます。
側面や背面を遮断することで、熱が装置のフレーム内に漏れ出るのを防ぎます。その結果、外部の壁は冷たく保たれ、熱は必要な場所にだけ届きます。
材料についての詳細 ハウジングにはステンレスを使用しています。なぜなら、特に過酷な化学的環境下でも耐えられるからです。半導体製造時の激しい熱負荷がかかっても、変形することはありません。
しかし、本当に重要なのは形状です。ハウジングはランプを正確に固定する必要があります。もし反射器が数ミリメートルだけずれてしまうと、ワークピースに熱斑ができてしまい、それは問題です。
注意すべき点 このようなハウジングは、より多くのスペースを必要とします。単純に通常の加熱コイル用のスペースに挿入することはできません。反射器の深さを考慮し、ハウジングが過度に熱くならないように十分な隙間を確保する必要があります。
また、配線には高温に耐えられるケーブルを使用することが大切です。ハウジングが筐体を保護していても、ランプ自体は依然として高温になります。
そして、通気性も忘れてはいけません。空気の流れを塞ぐと、ランプの寿命が短くなってしまいます。しっかりと通気させておけば、ランプは長持ちします。