IC用コンパクト赤外線ドライヤー

リソグラフィー工程における重要性 ソフトベイクとハードベイクは、単なる温度管理のステップではなく、パターンの忠実度と廃棄ウエハの境界線です。ウエハ上で数度の温度変動がライン幅の変動として現れます。さらに、ベイク工程で粒子が発生すると、トラックが汚染されます。我々は、これらの変数を排除するために...