なぜ金メッキされた反射器がウェーハの硬化処理において重要なのか ウェーハを硬化処理する際、実際にはエネルギーの管理が非常に重要です。ほとんどの人は通常のアルミニウム製の反射器を使用していますが、問題点があります。その熱の多くが機械の筐体に漏れてしまうのです。これは無駄なエネルギーの消費です。 だか...

アウトライン上で学ぶのは、フォトレジストのベーク中にわずか0.5度の温度変動があっても、ライン幅に影響を与え、多数のウェーハを不良として廃棄する結果になるということだ。稼働率と再現性は「あったらいいな」ではなく、まさにプロセスそのものである。 実際に重要なポイント 赤外線バルブには金製のリフレクタ...