MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

なぜ、MEMSウエハーに熱風を当てるのをやめるべきか もしMEMS製造工場で働いたことがあれば、その手順はよくわかるでしょう。湿式エッチングや洗浄を終えたら、次に必要なのは水分を取り除くことです。従来の工場では、単純に熱風をウエハーに当てて乾燥させていました。これは至る所で見られる光景です。 しか...