なぜ金メッキされた反射器がウェーハの硬化処理において重要なのか
ウェーハを硬化処理する際、実際にはエネルギーの管理が非常に重要です。ほとんどの人は通常のアルミニウム製の反射器を使用していますが、問題点があります。その熱の多くが機械の筐体に漏れてしまうのです。これは無駄なエネルギーの消費です。
だからこそ、私たちは金を使用するのです。聞き心地は良いですが、実際には純粋に実用的な理由からです。金は、近赤外線を正確に必要な場所、つまりウェーハ自体に戻すのに優れています。
工場の床を温めるだけの電力を使う代わりに、すべてのエネルギーを有効活用できます。そうすれば、過度なエネルギー消費を抑えながらも、目標とする温度に到達できます。
形も重要です。
反射器の曲率が少しでもずれると、端辺部分に「冷たい箇所」ができたり、最悪の場合、ウェーハが変形してしまったりします。私たちは放物線や楕円形の曲率を利用して、熱を集中させます。そうすることで、基板全体に均一な温度分布が得られます。推測や不均一な硬化処理の心配もありません。
しかし、注意点もあります。金は高性能ですが、繊細です。どうか、装置を守るためにも、研磨剤や強力な化学薬品で反射器をこすらないでください。そうすると金が剥がれ落ち、効率が急激に低下してしまいます。必ず指定された溶剤を使用し、優しく扱ってください。
もう一つ覚えておくべき点は、金は熱を反射しますが、ランプ自体も熱くなります。そのため、冷却システムが十分に機能していることが重要です。反射された熱がランプのソケットを焼き付けてしまっては困ります。
最良な点は、これらはそのまま既存の硬化処理ラインに取り付けることができるということです。電源装置を交換したり、システム全体を改造したりする必要はありません。すぐに処理時間を短縮できます。