ファブ内のランプを長く使い続けるために：クォーツシールドの真実 もし、鉛を含まない、環境に優しい乾燥方式を採用したいと思っているなら、従来の加熱方法では不十分だということは既にご存知でしょう。そのため、ほとんどの人々は赤外線を利用した curing 方法を採用しています。空気を加熱するだけでは不十...

ファブフロアにおいて、ウォーターマークが残る、または温度を±0.1°C以内に保持できないリンスドライヤーはボトルネックではなく、歩留まりを著しく低下させる要因である。クリーンリンス工程後のウエハーは、熱応力を与えず、フォトレジストの歪みを発生させず、粒子を付加しない状態で水分を除去しなければならな...