ファブ内のランプを長く使い続けるために：クォーツシールドの真実
もし、鉛を含まない、環境に優しい乾燥方式を採用したいと思っているなら、従来の加熱方法では不十分だということは既にご存知でしょう。そのため、ほとんどの人々は赤外線を利用した curing 方法を採用しています。空気を加熱するだけでは不十分なので、赤外線は直接基材に作用します。
しかし、問題点があります。クリーンルームでは、ランプが汚れないようにする必要があります。そのためにはクォーツガラス製のシールドが必要です。
なぜクォーツを使うのか？
クォーツは、まるでランプのボディーガードのような役割を果たします。高純度の合成クォーツを使用するのは、短波長の赤外線に対して透明であるからです。そうすれば、熱がそのまま通過してしまいます。
もし普通のガラスを使った場合、熱を遮断したり、高温になると割れてしまったりします。シールドは、化学物質や異物がランプの表面に付着するのを防ぎます。これがなければ、ランプは本来よりも早く壊れてしまいます。そんな状況は避けたいものです。
正しい取り付け方法
これらのシールドは、非常に狭い場所に取り付けなければなりません。高出力の赤外線装置を使用していると、熱密度が非常に高くなります。クォーツシールドこそが、ランプの強力なエネルギーと敏感な半導体ウェーハを守る唯一の手段です。
一つのコツとしては、シールドが完璧に固定されているかを確認することです。DIYでの改造時に、シールドが少しでもずれていたり、隙間があったりすると、冷たい部分ができてしまいます。そうすると、ウェーハが均等に乾燥しなくなります。小さなミスが大きな問題を引き起こすのです。
妥協点
もちろん、クォーツも完璧ではありません。それはもろい素材です。メンテナンス中に少しでも乱暴に扱うと、機械の中にガラス片が散らばってしまいます。本当に不安な状況です。
また、シールドはランプを汚れから守ってくれますが、熱を完全に遮断するわけではありません。依然として熱が周囲に放出されます。もし冷却システムが十分でなければ、筐体の周囲の温度が上昇し、筐体が変形してしまう可能性があります。温度には注意が必要です。