ショート回路の防止：ファブリケーション工程での耐水型IRランプ
ファブリケーション工程で作業を行ったことがある人なら、その悩みがよくわかるでしょう。ウェハーを素早く加熱する必要がありますが、加熱素子は湿気や化学物質の蒸気に囲まれているため、常に問題が発生します。これは大惨事を招く原因となります。通常、ショート回路やクォーツ製のケースの破損が起こります。
だからこそ、私たちは耐水型のIRランプを開発したのです。これで、洗浄工程が始まるたびに心配する必要はなくなります。
なぜ短波長のIRか？
従来の対流式オーブンは遅いです。ウェハーに触れる前に空気を加熱するために時間がかかります。一方、短波長のIRを使えば、その中間過程を省略できます。エネルギーは直接ランプからウェハーに伝わります。非常に速いのです。
さらに、このランプは加熱コントローラーに直接接続されているため、何が起こっているかをリアルタイムで把握できます。データ駆動型の生産ラインを運用したい場合、これが最適な方法です。
難しい点：湿気の多い環境での設計
ほとんどのIRランプは、密封部分が漏れることで故障します。これは単純な問題です。私たちは、特殊な耐水ケースや、ワイヤーがランプに接続される部分に強力なシールを使用してこの問題に対処しています。
しかし、注意点もあります。単に密閉すれば良いわけではありません。クォーツは熱くなると膨張します。ケースが硬すぎると、チューブが割れてしまいます。つまり、「防水性」と「適度な空間」のバランスを取る必要があります。
留意すべき点
高密度のIRアレイを使用すると、加熱時間は大幅に短縮されます。しかし、小さな空間に多くの熱が集中するため、電力供給に大きな負担がかかります。
また、2kWのランプを1つのモジュールに集める場合は、冷却ファンやヒートシンクを忘れてはいけません。そうしないと、ランプの近くにある電子機器が損傷してしまいます。
良いニュースは、これらのシステムは既存のプロトコルを利用してPLCに直接接続できるということです。これにより、高速な生産ラインに対応できない古いヒーターを置き換えることができます。もう推測する必要はなく、実際のデータを基に判断できます。