ショート回路の防止：ファブリケーション工程での耐水型IRランプ ファブリケーション工程で作業を行ったことがある人なら、その悩みがよくわかるでしょう。ウェハーを素早く加熱する必要がありますが、加熱素子は湿気や化学物質の蒸気に囲まれているため、常に問題が発生します。これは大惨事を招く原因となります。通...

ファブフロアにおいて、ウォーターマークが残る、または温度を±0.1°C以内に保持できないリンスドライヤーはボトルネックではなく、歩留まりを著しく低下させる要因である。クリーンリンス工程後のウエハーは、熱応力を与えず、フォトレジストの歪みを発生させず、粒子を付加しない状態で水分を除去しなければならな...