クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もし、クラス100の環境でシリコンウェーハを加熱する場合、その恐ろしさはご存知でしょう。ほんの微細なほこりの粒——たった1マイクロメートル程度——があるだけで、作業したウェーハ全体が無用のものになってしまいます。 問題は、一般的な加熱素子...

熱の漏れを防ぐために：なぜセラミック製のエンドキャップが重要か 一般的な赤外線発信器の問題点は、熱があちこちに散らばってしまうことです。狭い半導体製造装置の中では、これは大きな問題となります。 もしその赤外線エネルギーがウェーハを避けて、装置の内部に当たってしまうと、「熱の蓄積」が起こります。する...

ウェーハを安全に守るために：IRランプの故障についての真実 正直に言って、IRランプが壊れると、それは本当に大変な問題です。 一瞬前まではすべて正常に動いていたのに、次の瞬間には石英管が破裂してしまいます。すると、粒子や化学物質がウェーハに降り注ぎます。その結果、製品は台無しになり、生産ラインも停...