ウェーハ用高精度IRセンサー

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もし、クラス100の環境でシリコンウェーハを加熱する場合、その恐ろしさはご存知でしょう。ほんの微細なほこりの粒——たった1マイクロメートル程度——があるだけで、作業したウェーハ全体が無用のものになってしまいます。 問題は、一般的な加熱素子...