ウェーハ加工ツール用温度センサー

クラス100のクリーンルームを常に清潔に保つために クラス100のクリーンルームを運用しているとき、目に見えないものとの戦いが絶え間なく続きます。わずか1マイクロメートルのほこりでも、ウエハー全体が台無しになってしまいます。本当に厄介です。そして、通常、その原因となるのは予想外のものであり、それは...