クリーンルーム用赤外線ヒーター
なぜ、クリーンルームには方向性のある赤外線加熱が適しているのか
ほとんどのヒーターは、周囲の空気を温めることで動作します。その結果、加熱したい対象物も徐々に温まっていきます。しかし、半導体製造のクリーンルームでは、これは問題を引き起こす原因となります。
機械の内部全体を加熱すると、その熱はその場に...
クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター
安全を守る:化学処理エリアでの赤外線ヒーターの使用 正直に言って、可燃性の洗浄剤が充満した空気の中でクリーンルーム用オーブンを使うのは、非常に危険な作業です。わずかな火花や、高温の表面が蒸気雲に触れただけで、大惨事につながります。これは非常にリスクの高い作業です。
そのため、私たちは通常のランプの...
クリーンルーム機器の更新が工場で行われている
なぜ、すべての照明管をテストするのか(そして、なぜそれが重要なのか) 半導体製造工場では、わずかな電気アークや漏れ電流といったものは単なる厄介ごとではありません。それは大災害です。一瞬で、大量のウェーハがダメになってしまう可能性があります。 だからこそ、私たちはクリーンルーム内の照明に対して「バッ...
クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ
悪夢を止める:ウェーハをランプの破壊から守る方法
高負荷でウェーハの生産を行っている場合、ランプが破壊されることは単なる迷惑ではありません。それは大惨事です。
1本の石英管が破壊されると、すぐにガラスの破片や微粒子がウェーハの上に降り注ぎます。そうなると、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます...