赤外線ヒーターを設置する際には、天井との距離にも注意が必要です。更衣室やパティオに赤外線ヒーターを設置する場合、単純に壁にブラケットを取り付けるだけでは不十分です。熱がどこに行くかを考える必要があります。 実は、この種のヒーターは、通常のエアヒーターのように空気全体を温めるわけではありません。熱は...

重負荷下でのウェーハ加熱におけるランプの故障対策 ウェーハ加熱システムを限界まで使い込むと、危険が伴います。特に、クォーツランプは破裂する可能性があります。正直言って、ランプが割れると大変なことになります。稼働時間が失われるだけでなく、ガラスの破片や化学物質がウェーハ全体に飛び散ってしまいます。一...