半導体製造用のヒーターを安全に保つために クリーンルームでは、わずかな電気漏れでも大事故につながります。ほんの小さな火花や電流の漏れだけで、数秒で大量のウェーハが破壊されてしまいます。そのため、私たちは、チassis内に全く電流が漏れないようにしながら、適切な温度を維持できるようにこれらのヒーター...

熱を無駄にしないで：なぜ金メッキランプが重要なのか 半導体ウェーハを扱っている人なら、1ワットも無駄にしてはいけないことを知っているでしょう。しかし、一般的な石英ランプには問題があります。それは、熱があらゆる方向に放出されてしまうという点です。高価なエネルギーの半分が、ウェーハではなくランプのケー...

半導体製造用の装置で熱を無駄にしないために 通常の加熱素子は、エネルギーをあらゆる方向に放出してしまいます。つまり、360度全方位に熱が放射されるのです。半導体製造炉の中では、これは大変な問題です。 その熱がウェーハではなく内壁に当たってしまうと、「過熱した内壁」ができてしまいます。これは二重の悪...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つためには、わずかなほこりでさえも大問題となります。半導体業界では、実際の敵となるのはガスの発生や、材料が崩壊することです。これを防ぐために、私たちは高純度の石英製の赤外線ランプと、テフロンで絶縁された配線を使います。 高純度石英の利点 ランプのケー...

なぜ、ヒートプロブレムを解決するために金が使われるのか？ 半導体ウェーハを加工するとき、実際には無駄なエネルギーと戦っていることになります。表面に熱が届くことは必要ですが、多くの場合、その熱は装置のケース内に逃げてしまいます。これはエネルギーの無駄遣いであり、ハードウェアにとっても悩みの種です。...

製造現場では、95℃でのソフトベイク処理には何の警告も表示されません。結果として、廃棄されるウェーハが出てきてしまい、誰も望んでいないような歩留まりしか得られません。リソグラフィーにおいて、温度は単なるパラメータではなく、プロセスそのものです。 重要なのは内部構造 このヒーターはCE認証を受けてお...

包装する直前に、洗浄後に残った水分はそのままにしておくわけにはいきません。それが封止剤の中に浸透してしまうのです。これによりCTEが変化し、将来的に剥離が起こる可能性があります。また、もし依然として従来のホットプレートを使用している場合、エッジビードの問題や粒子の発生といった問題が常に存在します。...

300mmラインにおいて、ソフトベイク時の2°Cの温度変動は、単なるCDのずれというだけではありません。それは、無駄にウェーハが使用されることを意味します。そのため、ファブがフル稼働している状態でも、プロセス範囲内で一定の熱挙動を維持できるように、クォーツ製のハロゲンヒーターを開発しました。 重要...