クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つためには、わずかなほこりでさえも大問題となります。半導体業界では、実際の敵となるのはガスの発生や、材料が崩壊することです。これを防ぐために、私たちは高純度の石英製の赤外線ランプと、テフロンで絶縁された配線を使います。
高純度石英の利点 ランプのケースとしては、合成融成石英が使用されます。一般的なガラスでは熱に耐えられず、イオンが漏れ出したり、微細な破片が剥がれ落ちたりします。これはウェーハにとって大きな問題です。 このランプは短波長の赤外線を利用しているため、周囲の空気が温まることはありません。エネルギーは直接基板上に届きます。これにより、ほこりが舞い上がって作業面に付着することを防げます。
なぜテフロンを使用するのか 通常のPVCやシリコン製の配線は熱に弱く、高温になると揮発性有機化合物を放出します。つまり、ガスが発生するのです。そのガスがシリコン上に付着すると、全体の製品がダメになってしまいます。 そのため、PTFE（テフロン）でコーティングされた配線を使用します。テフロンは熱に強く、煙や破片が出ません。純粋なエネルギーだけが供給されます。
エンジニアへの注意点 ただし、高純度石英はもろいため、取り付け時に衝撃を与えると割れてしまいます。そのため、取り付けブラケットには少しの余裕を持たせておく必要があります。 また、配線にも注意が必要です。テフロンはシリコンほど簡単に曲がりません。曲げすぎると絶縁体が壊れる危険があります。少し緩めにしておけば問題ありません。
まとめ 石英とPTFEを組み合わせることで、漏れのない加熱システムが実現します。迅速な硬化や乾燥に必要な熱密度が得られますが、空気中の微粒子と戦う必要はありません。本当に効果的な方法です。