包装する直前に、洗浄後に残った水分はそのままにしておくわけにはいきません。それが封止剤の中に浸透してしまうのです。これによりCTEが変化し、将来的に剥離が起こる可能性があります。また、もし依然として従来のホットプレートを使用している場合、エッジビードの問題や粒子の発生といった問題が常に存在します。したがって、清潔で再現性があり、熱的に安定した乾燥処理やフォトレジスト処理が必要です。
実際に重要なのは何か 私たちは、水や溶剤の吸収帯に合わせて調整されたクォーツ発振器を用いた短波長NIRを利用しています。これにより、有機物を焼き付けることなく、表面下の加熱が迅速に行えます。ウェーハ全体の均一性は±0.1°C以内で保たれ、設定値の変更も±0.5°C/秒以内に抑えられます。この装置はクラス1～100のクリーンルームで使用可能であり、0.35μm/分の速度で0.1μm未満の粒子が発生しないことを確認できます。ソフトベイクとハードベイクのパラメータもロットごとに再現性があり、重要な寸法の管理も適切に行えます。
なぜこれがパッケージング前の工程に適しているのか パッケージング前の工程では、ウェーハの乾燥、次にフォトレジストの処理と硬化という流れになります。NIRを利用することで、加熱にかかる時間が短縮され、エネルギー消費も減少します。その結果、処理サイクルが速くなり、余分な水分が少なくなり、エッジビードや残留溶剤による不良品も減ります。同じ装置を乾燥処理とベイク処理の両方に使用できるため、検証が簡単になり、スペアパーツの必要も少なくなります。
苦労して学んだこと NIRは直線的な光の伝播を利用するため、均一性を維持するためには反射材や適切なウェーハの向きが必要です。発振器の間隔や出力密度もウェーハのサイズやフィルムの構造に合わせて調整する必要があります。そのため、私たちは一緒に最適な条件を見つけ出します。設定が完了すれば、プロセスはほとんど変動なく進行します。