マイクロLEDウェーハ乾燥ヒーター

製造現場では、レジストの焼成時にわずかな偏差が生じても、やり直すことはできません。フォトレジストの焼成時に生じるわずかな温度変動だけで、Micro LEDエピウェーハ全体が台無しになってしまいます。そのため、表面全体の温度を±0.1℃以内に保つことができる乾燥ヒーターが必要です。これは、各焼成工程...