製造現場において、量子チップの歩留まりは偶然に左右されるものではありません。それは熱制御にかかっています。フォトレジストを加熱する際に数度の温度変動があれば、ウェーハが破壊されてしまい、何週間もかけて行われたプロセスが無駄になってしまいます。私たちは、このような不安定要因を排除するために、量子コンピューティング用チップ用のヒーターを開発しました。
実際に重要なのは何か 石英窓を通して短波長赤外線を利用し、炭素繊維強化型のヒーター要素を使うことで、迅速かつ効率的に熱を供給できます。アクティブエリア全体でのウェーハの温度 uniformityは±0.1℃以内であり、繰り返し運転時のばらつきも≤0.05℃です。クリーンルームのクラス1～100の環境下では、ガス放出が少なく、熱サイクル中に粒子が発生することもありません。24時間365日、計画外の停止時間なしで安定して動作し、MTBFは50,000時間以上となっています。
なぜこれが量子プロセスに適しているのか このヒーターは、リソグラフィー、ソフトベイク、ハードベイクといった量子チップ製造に不可欠な工程に最適化されています。温度がすばやく安定するため、待機時間が短縮され、フォトレジストの状態も安定します。その結果、CDの精度が向上し、再作業が減り、サイクルタイムも予測可能になります。また、エネルギー消費も削減されます。迅速な温度応答により、ウェーハ1枚あたりの電力消費量が減少します。
設置する前に考えるべきこと 設置には、専用の24VDC電源と、隣接するモジュールからの断熱処理が必要です。これを怠ると、設定温度の安定性が損なわれます。このヒーターはSECS/GEMをサポートしていますが、機械と装置間の接続を事前に調整しなければ機能しません。また、設置スペースも事前に計画する必要があります。空気の流れや隙間がuniformityに影響を与えます。
私たちはプロセスに合わせて設計しています。そのため、ツールを使っても心配する必要はありません。