カーボンファイバーIRとホットエア：部品を加熱するためのより優れた方法
もしまだ半導体加工にホットエアを使用しているなら、それは単に待つしかない状態です。
どのように動作するか考えてみてください。まず空気を加熱し、その空気が部品を加熱するのです。これは中間媒体を介した方式です。精密加工では、この中間媒体が大きな遅延を引き起こします。
一方、カーボンファイバーIRランプは、この中間媒体を完全に排除します。空気を温める代わりに、エネルギーが直接基板上に届きます。
全く違った感覚です。
ホットエアを使う場合は、チャンバーが十分に温まるのを待つしかありません。時間の無駄です。しかし、カーボンファイバーランプを使えば、数秒で最高温度に到達します。
これは「時間コスト」の面で大きなメリットです。空気を排除することで、熱的な慣性もなくなります。その結果、処理サイクルが短縮され、より多くのウェーハを処理できます。
次に、熱そのものについて話しましょう。
通常の金属コイルは不安定で、「ホットスポット」を作り出し、材料を歪めてしまいます。しかし、カーボンファイバーは違います。熱を均等に分布させるため、繊細な部品が損傷する心配はありません。
ただし、注意点もあります。この装置は大量のエネルギーを発生させるため、単純に接続して放置するわけにはいきません。冷却ファンやヒートシンクを適切に設置する必要があります。筐体が過度に熱くなると、電気接続部が壊れてしまい、また最初からやり直しになってしまいます。
また、スペースの問題もあります。
多くの工場がこの方式に切り替えているのは、IRを使えば設備のサイズを小さくできるからです。巨大な送風機や複雑なダクトは不要です。ランプを接続し、距離を調整すればOKです。古い設備でも、簡単に交換できます。
もちろん、完璧というわけではありません。
IRは放射熱なので、「シャドウ効果」に注意が必要です。部品の形状が変則的な場合、光が当たらない部分が出てきます。そのため、ランプの配置を工夫して、光が均等に当たるようにしなければなりません。
正しく配置すれば、処理時間が大幅に短縮されます。