如何保持100级洁净室的清洁状态 如果在100级洁净环境中对硅片进行加热处理，那可真是糟糕至极。哪怕只有1微米的灰尘存在，整个批次的产品都会报废。 问题在于，大多数普通的加热元件在加热和冷却过程中会释放出大量微小颗粒物。这无疑是一场灾难的隐患。 为了解决这个问题，我们使用了高纯度的合成石英红外灯。...

为什么你应该停止用热风处理MEMS晶圆 如果你曾在MEMS生产线上工作过，那你就知道流程是怎样的。完成湿法蚀刻或清洁工序后，接下来就是去除晶圆上的水分。传统的方法就是用热风吹干晶圆。不过，这种方法效率很低，因为它依赖于对流作用，而当时间紧迫时，这种等待时间实在难以忍受。此外，用空气吹干晶圆还会让灰...

停止与热量作斗争：处理半导体封装中红外辐射的更好方法 如果你曾经从事过半导体传感器的封装工作，那么你一定了解处理热量所带来的困扰。那简直就是一场噩梦。 普通的红外线灯其实就像普通的灯泡一样，会向各个方向散发热量。问题在于，大部分热量并没有照射到待处理的部件上，而是被吸收到了机器的内部结构中。这样一...

如何保持100级洁净室的清洁状态 在运营100级洁净室时，你其实一直在与看不见的污染物作斗争。哪怕只有一微米的灰尘——这种肉眼根本无法察觉的颗粒——就足以毁掉整批晶圆。这实在令人沮丧。而通常，造成污染的源头往往是人们意想不到的东西：比如加热元件。 如果灯管会释放出气体或产生微小颗粒，那无疑会给工艺...

利用红外技术制造氢气传感器 如果你正在制造氢气传感器，那么你肯定知道：热处理和沉积过程必须精确控制。不过说实话，那种传统的对流式烤箱实在效率低下——它们加热速度慢，体积庞大，而且还会让周围的所有物品都受热。 因此，我们转而使用短波红外系统。与加热整个房间不同，红外技术能够将能量精准地传递到需要的地...