如何保持100级洁净室的清洁状态
如果在100级洁净环境中对硅片进行加热处理，那可真是糟糕至极。哪怕只有1微米的灰尘存在，整个批次的产品都会报废。
问题在于，大多数普通的加热元件在加热和冷却过程中会释放出大量微小颗粒物。这无疑是一场灾难的隐患。
为了解决这个问题，我们使用了高纯度的合成石英红外灯。这种灯是专门为半导体行业设计的，在这里，“清洁”意味着完全不同于普通环境中的标准。
对抗颗粒物
我们使用杂质含量极低的熔融石英材料来制造这些灯管。因为这样就能防止灯管在高温下释放金属离子或出现碎片。
在将这些灯管密封之前，我们会对其进行彻底的清洗，确保其表面没有任何污染物。这样一来，当开关打开时，只有红外辐射会作用于硅片上，不会有其他任何杂质或灰尘。
精确控制热量
关键不仅是保持清洁，还要确保温度控制的精确性。我们会调整这些灯管的参数，使其能发出均匀的短波红外辐射。这样，热量可以快速且均匀地传递到硅片表面，从而避免出现温度不均的情况。
不过，高纯度石英材料虽然坚固，但仍然比较脆弱。它能够承受一定的热冲击，但却无法承受摔落或撞击。
另外，建议使用与真空环境兼容的安装配件。否则，新的污染物质就会进入洁净室，从而破坏整个系统的清洁度。
安装方式
这些灯管设计得非常方便，可以直接替换现有的灯管。它们的尺寸和电气规格都与现有设备相匹配，因此无需重新设计电源系统。
不过有一点需要注意：务必检查好冷却系统，确保它能够有效处理从硅片表面反射回来的热量。否则，灯丝可能会过早烧毁。