用于晶圆的精密红外传感器

如何保持100级洁净室的清洁状态 如果在100级洁净环境中对硅片进行加热处理，那可真是糟糕至极。哪怕只有1微米的灰尘存在，整个批次的产品都会报废。 问题在于，大多数普通的加热元件在加热和冷却过程中会释放出大量微小颗粒物。这无疑是一场灾难的隐患。 为了解决这个问题，我们使用了高纯度的合成石英红外灯。...