晶圆加热的安全距离

应对高负载晶圆加热过程中的灯管故障问题 当您将晶圆加热系统推向极限时，风险就会上升。尤其是石英灯管，很容易发生破裂。说实话，一旦灯管破裂，那简直就是一场灾难——不仅会导致设备无法正常工作，还会让玻璃碎片和化学物质飞溅到晶圆上。一旦出现这种情况，整个批次的产品都会报废。 正因如此，我们才会以特定的方...