可与真空环境配合使用的红外加热器

红外加热与强制对流：真空环境下的现实选择 如果你曾经尝试过从热空气循环系统转向适用于真空环境的红外加热器，你就会明白这会彻底改变你对热量控制的策略。 强制对流需要某种介质来传递热量。但在真空环境中，这种介质并不存在。既然没有空气来传递热量，那就无法将热量“吹”到晶圆上。这时，红外加热器便派上了用场...