用于半导体的石英卤素加热灯泡

在300毫米光刻机中，如果软烘烤过程的温度偏差达到2摄氏度，那就不只是CD尺寸的偏差问题了——这实际上意味着大量晶圆被浪费掉了。因此，我们设计了石英卤素加热灯，使其能够在工艺参数允许范围内保持稳定的温度，即便是在设备满负荷运行的情况下也是如此。 关键在于其内部结构 该加热灯的发射体是位于高纯度石英...