TEL 东京电子 加热灯

在光刻车间里，如果在光刻胶烘烤过程中温度出现0.2°C的偏差，那么整个生产批次就可能会变成废品，而用户甚至不会察觉到这一情况。所谓“软烘烤”和“硬烘烤”，其实并不是简单的加热步骤，而是对整个光刻过程的精确控制手段。 TEL加热灯能够提供均匀且可重复的温度控制，确保在工艺需要的地方实现精准控温，从而...