带金色反射器的红外线灯泡

在晶圆厂车间，你很快就会明白，光刻胶烘烤过程中温度漂移半度，都会导致线宽偏差，进而报废大量晶圆。设备运行时间和重复性不是“可有可无”的，它们就是工艺的核心。 实际关键点 我们采用带金反射器的红外灯泡，提供稳定、定向的热量，并实现严格的光谱控制。其结果是在烘烤表面实现晶圆级温度均匀性，控制在...