微LED晶圆干燥加热器

在制造车间里，一旦光照过程中的温度出现哪怕微小的偏差，就再也没有机会重新处理了。在光刻胶固化过程中，哪怕只有0.1°C的误差，都可能导致整个微LED外延片报废。因此，需要使用能够将表面温度控制在±0.1°C范围内的加热器——无论是在每次固化过程中，还是在不同班次之间。 关键在于精确的温度控制 我们...