高能效晶圆加热器

为什么我们放弃传统烤箱，转而使用红外线固化技术？ 在半导体行业，人们终于开始摆脱那些传统的对流式烤箱了。这其实很合理——由于环保要求的提高以及对无铅材料的青睐，传统的加工方式已经不再适用。我们选择红外线固化技术，是因为它无需使用有害的化学溶剂，同时也避免了浪费能量来加热那些其实并不重要的空气。 其...