便宜的晶圆干燥灯泡

在光刻工艺中，如果烘烤温度出现轻微波动，就会影响线宽控制的精度；而如果某个部位的烘烤温度过高，而另一个部位则过低，那无疑会导致光阻材料失效。晶圆干燥并非可有可无的步骤，它其实直接影响产品的良率。我们设计的晶圆干燥灯管能够确保温度始终处于可控范围内，即便在预算有限的情况下也是如此。 从技术层面来看，...