外延生长用红外加热灯

在生产线上，200毫米厚的晶圆正在等待涂覆光刻胶。烘烤过程是必不可少的——这是工艺要求。如果温度有哪怕微小的变化，晶圆的尺寸也会随之改变，从而导致整个生产流程失败。为避免这种情况，我们采用了红外灯来为晶圆提供加热，从而从源头控制温度变化。 从技术角度来说，重要的是：我们使用短波红外石英卤素灯，以实...