
如何让您的照明灯正常工作:关于石英防护罩的真相
如果您希望采用无铅、环保的干燥方式,那么您应该已经意识到,传统的加热方式已经不再适用了。因此,我们通常选择红外固化技术。与仅加热空气的方式相比,红外技术可以直接作用于被处理的物质表面。
不过,这里有个问题:洁净室对环境要求极为严格。为了防止照明灯被杂质污染,就需要使用石英玻璃防护罩。
为什么要用石英呢?
可以把石英看作是照明灯的“保镖”。我们使用高纯度的合成石英,因为这种材料几乎不会被短波红外辐射穿透,热量可以轻松穿过它。而如果使用普通玻璃的话,要么会阻挡热量,要么在受热后会破裂。石英防护罩能够有效阻止化学蒸汽和杂质接触到照明灯的表面。没有它的话,照明灯的寿命就会大大缩短,没人愿意面对这样的状况。
确保防护罩安装正确
这些防护罩必须安装得非常精确。当高功率的红外光源工作时,产生的热量非常高。石英防护罩就是连接光源与敏感半导体晶圆的唯一屏障。
一个提示:一定要确保防护罩安装得恰到好处。我在很多自行改装的过程中见过这种情况——如果防护罩稍微偏离中心或存在缝隙,就会形成冷点,从而导致晶圆无法均匀干燥。一个小错误就可能带来很大麻烦。
权衡利弊
当然,石英并非完美无缺。它很容易破碎。如果在维护过程中不小心处理不当,玻璃碎片就会散落在机器各处,这确实令人头疼。此外,虽然石英防护罩能保护照明灯免受灰尘侵害,但它无法阻挡热量。如果冷却系统不够完善,设备周围的温度就会上升,甚至可能导致设备变形。因此,必须密切关注设备温度。