如何让您的照明灯正常工作：关于石英防护罩的真相 如果您希望采用无铅、环保的干燥方式，那么您应该已经意识到，传统的加热方式已经不再适用了。因此，我们通常选择红外固化技术。与仅加热空气的方式相比，红外技术可以直接作用于被处理的物质表面。 不过，这里有个问题：洁净室对环境要求极为严格。为了防止照明灯被杂...

在300毫米光刻机中，如果软烘烤过程的温度偏差达到2摄氏度，那就不只是CD尺寸的偏差问题了——这实际上意味着大量晶圆被浪费掉了。因此，我们设计了石英卤素加热灯，使其能够在工艺参数允许范围内保持稳定的温度，即便是在设备满负荷运行的情况下也是如此。 关键在于其内部结构 该加热灯的发射体是位于高纯度石英...

在晶圆厂车间，冲洗干燥机如果留下水痕或无法维持±0.1°C内的温度稳定，不仅仅是瓶颈——更是良率杀手。经过清洗冲洗的晶圆必须在不产生热应力、不发生光刻胶变形且不增加颗粒污染的情况下去除水分。罩子下的加热器必须快速提供可重复的加热，同时保持清洁。 我们设计的用于冲洗干燥机的石英加热器基于短波红外响应...