防止短路：用于晶圆清洗工序的防水红外线灯
如果你曾经在晶圆清洗工位上工作过，那么你就知道其中有多麻烦。你得时刻面对一个难题：一方面，需要让晶圆迅速升温；另一方面，加热元件却处于充满湿气和化学蒸汽的环境中。这无疑会导致电路短路或石英管损坏。
因此，我们设计的红外线灯具有防水功能。这样，就不用再为每次清洗过程而担心电路短路的问题了。
为何选择短波红外线？
传统的对流式烤箱效率很低，它们需要先加热空气，才能让热量作用于晶圆上。而我们使用短波红外线，因为这种方式可以跳过中间环节，让能量直接从灯体传递到晶圆上。这样的方式速度极快。
此外，由于这些红外线灯直接与加热控制器相连，因此你可以实时了解热量是如何作用于晶圆的。如果你想实现自动化生产，这就是唯一能准确掌握生产状况的方法。
难点在于如何处理潮湿环境
大多数红外线灯在潮湿环境中都会失效，因为其密封装置存在缺陷。为了解决这个问题，我们采用了特殊的防水外壳以及可靠的密封结构来保护电线连接处。
不过，问题在于：不能仅仅依赖密封来解决问题。石英在受热时会膨胀，如果外壳太硬，那么石英管就有可能破裂。因此，需要在“防水性”和“适度透气性”之间找到平衡点。
需要注意的几点
如果你选择高密度红外线灯组，那么晶圆的升温速度会非常快。但要注意，如此多的热量集中在一个小空间内，会对电源系统造成很大压力。
如果你把多个2千瓦的灯光集成在一个模块中，那一定要确保有足够的冷却风扇和散热装置。否则，靠近这些灯体的电子元件就会被烧毁。
好消息是，这些系统可以通过标准的协议直接连接到PLC上。相比那些效率低下的旧式加热器，这种系统显然更实用。你可以不再凭猜测来操作，而是通过数据来了解实际情况。