防止短路：用于晶圆清洗工序的防水红外线灯 如果你曾经在晶圆清洗工位上工作过，那么你就知道其中有多麻烦。你得时刻面对一个难题：一方面，需要让晶圆迅速升温；另一方面，加热元件却处于充满湿气和化学蒸汽的环境中。这无疑会导致电路短路或石英管损坏。 因此，我们设计的红外线灯具有防水功能。这样，就不用再为每次...

在晶圆厂车间，冲洗干燥机如果留下水痕或无法维持±0.1°C内的温度稳定，不仅仅是瓶颈——更是良率杀手。经过清洗冲洗的晶圆必须在不产生热应力、不发生光刻胶变形且不增加颗粒污染的情况下去除水分。罩子下的加热器必须快速提供可重复的加热，同时保持清洁。 我们设计的用于冲洗干燥机的石英加热器基于短波红外响应...