通过CE认证的半导体加热器

在制造车间里，95°C下的低温烘烤过程并不会有任何警示标志。其结果就是一批被废弃的晶圆，以及那些没人需要的产量数据。在光刻工艺中，温度不仅仅是一个参数——它本身就是整个工艺流程的关键所在。 真正重要的因素 该加热器获得了CE认证，其结构包括短波红外线元件及石英基热传导结构。它能够确保晶圆表面的温度...