晶圆轨道加热灯

在光刻车间，一次软烘干温度偏差即使只有一度，也会导致光刻胶厚度超出规格。硬烘干不均匀？那是图形塌陷的先兆。晶圆传送轨上的加热灯不仅是组件，更是保持工艺稳定性的热锚，确保每班次的工艺一致。 底层关键技术 我们基于石英封装的短波红外（SWIR）卤素发射器设计了这款灯具。其核心在于能量直接耦合进光刻胶层...