用于晶圆的精密红外传感器
如何保持100级洁净室的清洁状态
如果在100级洁净环境中对硅片进行加热处理,那可真是糟糕至极。哪怕只有1微米的灰尘存在,整个批次的产品都会报废。
问题在于,大多数普通的加热元件在加热和冷却过程中会释放出大量微小颗粒物。这无疑是一场灾难的隐患。
为了解决这个问题,我们使用了高纯度的合成石英红外灯。...
红外灯用铝制反射器
保护您的晶圆:关于红外灯故障的真相 说实话,红外灯发生故障简直就是一场噩梦。前一秒一切正常,下一秒石英管就爆裂了。此时,各种颗粒和化学物质会溅到晶圆上,导致整批产品报废,生产线也必须停止运转。这真是令人头疼的问题。
正因如此,我们才会以特定的方式设计加热系统。
为什么铝制反射器如此重要 你可能会认...