MEMS传感器晶圆干燥加热器

为什么你应该停止用热风处理MEMS晶圆 如果你曾在MEMS生产线上工作过，那你就知道流程是怎样的。完成湿法蚀刻或清洁工序后，接下来就是去除晶圆上的水分。传统的方法就是用热风吹干晶圆。不过，这种方法效率很低，因为它依赖于对流作用，而当时间紧迫时，这种等待时间实在难以忍受。此外，用空气吹干晶圆还会让灰...