超纯度加热灯

为何在深度加工中我们放弃热风方式，转而使用红外灯 如果你仍然依赖热风来加热晶圆，那其实就是在白白浪费时间。 想想看，热风本质上只是对流现象——先加热空气，再让空气去加热晶圆。这个过程非常缓慢，你需要花费大量时间等待热量传递完成。而使用超高纯度红外灯则完全不同：它以光速将电磁辐射直接传递到目标物体上...