红外加热与强制对流：真空环境下的现实选择
如果你曾经尝试过从热空气循环系统转向适用于真空环境的红外加热器，你就会明白这会彻底改变你对热量控制的策略。
强制对流需要某种介质来传递热量。但在真空环境中，这种介质并不存在。既然没有空气来传递热量，那就无法将热量“吹”到晶圆上。这时，红外加热器便派上了用场——它利用电磁辐射直接作用于目标物体，无需任何中间介质。
时间就是一切
热空气系统反应迟缓，因为其具有很大的热惯性，因此需要几分钟甚至几小时的时间才能让腔体达到稳定状态。这无疑是一种浪费时间的方式。
而红外加热器则完全不同，它的响应速度极快。我们发现，其升温时间可以从几分钟缩短到几秒。在试图提升生产效率时，能够快速加热表面而不使整个房间过热，是避免工艺受阻的关键。
在洁净室中的正确应用
当然，不能随便使用普通的灯。适用于真空环境的红外灯必须使用特殊的石英材料和灯丝，因为任何微小的杂质泄漏都可能破坏洁净室的环境。我们始终使用高纯度的材料，以保持真空状态。最棒的是，这样的加热器能在很小的空间内提供强大的热量。如此一来，就可以精确地加热晶圆的特定区域，从而避免边缘被烧焦，而中心部分仍然处于低温状态。
缺点
不过，红外加热并非万能的解决方案。由于热量传递速度过快，如果升温过于迅速，反而可能会对材料造成损伤。因此，必须确保PID控制器能够及时响应。如果传感器反应迟缓，就可能导致温度失控，从而报废整批产品。这真是令人头疼的问题。
此外，还必须考虑冷却问题。一旦加热过程结束，冷却系统必须能够迅速带走热量。否则，之前节省下来的那些时间就会在冷却过程中白白浪费掉。