为什么我们放弃传统烤箱，转而使用红外线固化技术？
在半导体行业，人们终于开始摆脱那些传统的对流式烤箱了。这其实很合理——由于环保要求的提高以及对无铅材料的青睐，传统的加工方式已经不再适用。我们选择红外线固化技术，是因为它无需使用有害的化学溶剂，同时也避免了浪费能量来加热那些其实并不重要的空气。
其工作原理如下：
想象一下传统对流式烤箱：它实际上是在加热一箱空气，希望让空气来加热晶圆。这种做法效率低下且浪费能源。而红外线固化则不同——它利用电磁辐射直接照射晶圆表面，能量直接作用于晶圆材料，使分子振动，从而迅速去除其中的挥发性物质。这样一来，干燥时间可以从数小时缩短到几秒钟而已。
简化工艺流程
如果使用无铅焊料或环保型树脂，那就更需小心了。这些材料对温度要求很高，如果温度控制不当，就可能会导致整个晶圆损坏。而使用红外线固化技术的话，我们可以调整波长——无论是短波还是中波——以适应不同材料的需要。此外，还无需担心那些大型燃气烤箱带来的碳排放问题。没有燃烧产物，也没有有害气体排放，只有纯粹的热能。
需要注意的难题
不过，这并不是什么神奇的技术。我们必须合理控制热量密度。因为红外线灯能在极小的空间内释放出大量热量，所以如果晶圆放置位置不当，就可能出现局部过热的情况。为了解决这个问题，我们不得不仔细调整距离并使用反射罩来确保热量均匀分布。另外，如果冷却系统不够强大，无法应对突如其来的高温，那么就会产生热应力。因此，冷却步骤不可忽视。
我们设计的这些系统可以轻松替代原有的加热装置。只需将其连接起来，调整好强度，就能避免浪费能源来加热整个房间。