제조 현장에서는, 포토레지스트가 조금이라도 흔들리면 다시 시작할 수 없습니다. 포토레지스트를 가열하는 과정에서 약간의 온도 변동만으로도 전체 마이크로 LED 에피웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 따라서 표면 전체의 온도를 ±0.1°C 이내로 유지해주는 건조 히터가 필요합니다. 이는 매번 가열할 때마다, 그리고 매 교대 시간마다 반드시 지켜져야 합니다.
핵심은 무엇인가? 우리는 빠른 반응 속도를 가진 단파 적외선 성분을 사용하여 열 프로파일을 일관되게 유지합니다. 웨이퍼 전체의 온도는 ±0.1°C 이내로 제어되며, 고온 구역은 클린룸 클래스 1–100 수준으로 설계되어 입자 발생이 전혀 없습니다.
소프트 베이크와 하드 베이크는 제품의 크기를 결정하는 데 중요한 역할을 합니다. 열 관리를 철저히 하면 제품의 크기를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 시스템은 24/7 작동을 위해 설계되었으며, 내구성이 뛰어난 부품과 예측 가능한 유지보수 주기 덕분에 정전이 발생하지 않습니다.
왜 이 방식이 마이크로 LED에 적합한가? 마이크로 LED 제조 공정에서는 리소그래피와 건조 과정이 매우 짧은 시간 안에 이루어져야 합니다. 용매 제거는 완전히 이루어져야 하지만, 동시에 포토레지스트는 그 형태를 유지해야 합니다.
우리의 히터는 가열 과정을 안정적으로 유지하여 재작업과 오차를 줄여줍니다. 그 결과, 첫 번째 작업에서의 성공률이 높아지고, 선/간격의 제어도 더욱 정확해집니다. 에너지 사용도 효율적입니다. 정밀한 온도 제어와 낮은 대기 상태에서의 손실 덕분에 처리 속도가 느려지지 않으면서도 운영 비용이 절감됩니다.
무시하면 문제가 되는 세부 사항들 이러한 히터들은 표준적인 기계적 및 전기적 인터페이스를 통해 기존 장비에 연결됩니다. 하지만 정렬과 가스 흐름 경로는 해당 장비의 특성에 맞게 조정되어야 합니다.
포토레지스트와 기판의 구조에 맞게 설정을 조정하기 위해서는 테스트가 필요합니다. 또한 습도가 높은 환경에서 작업할 경우 응축수 처리도 고려해야 합니다. 우리는 사전에 퍼지 및 배출 시스템을 설정해두었습니다.
성공률이 온도에 따라 결정된다면, 온도 제어는 선택사항이 아닙니다. 공정에 맞는 건조 히터를 선택하면 공정도 안정적으로 유지됩니다.