IC용 컴팩트 적외선 건조기

리소그래피 현장에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 온도 단계가 아니라, 좋은 패턴 충실도와 폐기될 웨이퍼 사이의 경계선입니다. 웨이퍼 전반에 걸친 몇 도의 변동은 선폭 변동으로 나타납니다. 베이크 단계에서 입자가 발생하면 트랙이 오염됩니다. 우리는 이러한 변수...