에너지 절약형 반도체 히팅

왜 금을 사용하여 열 문제를 해결하는가? 반도체 웨이퍼를 가공할 때는 사실상 에너지 낭비와의 싸움을 하는 셈입니다. 표면에 열이 전달되어야 하지만, 너무 자주 그 열이 기계의 몸체로 새어나갑니다. 이는 에너지의 낭비일 뿐만 아니라, 하드웨어에도 부담을 줍니다. 이때...