MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

왜 MEMS 웨이퍼에 뜨거운 공기를 불어넣는 것을 그만두어야 하는가? MEMS 제조 공장에서 일해본 사람이라면 잘 알고 있겠지만, 습식 에칭이나 세척 작업이 끝나면 반드시 그 위의 수분을 제거해야 합니다. 기존의 방식에서는 단순히 뜨거운 공기를 웨이퍼 위에 불어넣는...