반도체 청정실용 트롤리 히터

반도체 운반대용 히터를 안전하게 보호하는 방법 클린룸에서는 단 한 번의 전기 누설도 치명적인 문제가 됩니다. 아주 작은 스파크나 전류 누설만으로도 몇 초 만에 웨이퍼들이 모두 파괴될 수 있습니다. 그래서 우리는 히터를 설계할 때, 케이스로 들어가는 전류가 전혀 없도록...