마이크로 LED 웨이퍼 건조 히터

제조 현장에서는, 포토레지스트가 조금이라도 흔들리면 다시 시작할 수 없습니다. 포토레지스트를 가열하는 과정에서 약간의 온도 변동만으로도 전체 마이크로 LED 에피웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 따라서 표면 전체의 온도를 ±0.1°C 이내로 유지해주는 건조 히터가 필요합...